연구시설장비

서브비주얼 배경이미지

정보제공 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr)

글로브박스 결합형 다차원 유/무기 하이브리드 페로브스카이트 물질 열 증착장비

Thermal evaporator system with glove box for deposition of multi-dimensional organic/inorganic hybrid perovskite materials

DRIS No.	DRIS-19-0140
시설장비등록번호	NFEC-2018-01-241940
보유기관	대구경북과학기술원
담당자
연락처
이메일

장비정보

모델명	모델명 없음	제작사	대동하이텍
취득일자	2017-12-05	취득금액	172,880,000원
5대 미래산업 분류	헬스케어	활용용도	시험
표준분류	기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 열증착기
장비위치	대구광역시 달성군 현풍면 테크노중앙대로 333 대구경북과학기술원　 R3 F8 809
장비설명	○ 유/무기 하이브리드 페로브스카이트 물질 증착 전용 시스템 ○ 글로브박스(Glove box, GB)와 별도의 두 증착 시스템 (열증착 + E-beam증착) 결합된 다기능 증착 시스템 ○ E-beam 시스템의 경우 6개 source 증착 가능 ○ Thermal 시스템의 경우 4개의 source (3개의 무기물 + 1개의 유기물) 증착 가능 ○ GB 내/외부를 통한 샘플 증착 가능 ○ GB 를 통한 수분/산소에 민감한 물질 증착 가능 ○ 프로그램을 통한 layer-by-layer 증착 가능
구성 및 기능	○ 1.5인용 GB 와 별도의 두 증착(열증착 + E-beam증착) 시스템 결합 (수분 감지센서 포함, < 1 ppm) ○ Glove box system - 고려기연 제작 / 3 glove ports / mini-antichamber ○ E-beam system - 15 cc crucible liner, 6 source pockets - E-gun power: 6 kW (750 mA @ 8 kV) / Telemark - with PFEIFFER TMP (HIPACE 700) / rotary vacumm pump (600 L/min) ○ Thermal system - 4 sources (3 inorganic sources + 1 organic source) - 무기물과 유기물 간 오염방지 시스템 / 독립된 source power supply - with PFEIFFER TMP (HIPACE 400) / rotary vacumm pump (600 L/min)
사용/활용예	○ 유/무기 하이브리드 페로브스카이트 물질 증착 ○ 다양한 종류의 유기물 및 무기물 증착 ○ 증착 가능한 무기물: 각종 금속, 산화물 및 무기반도체 소재 ○ 증착 가능한 유기물: OLED 를 포함한 다양한 유기 소재 ○ 수분에 민감한 각종 물질 증착
이용안내
유의사항

이용료안내

담당자에게 문의하시기 바랍니다.