연구시설장비

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정보제공 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr)

I-Line 축소 노광기

I-Line Stepper

DRIS No.	DRIS-19-0949
시설장비등록번호	NFEC-2023-01-284416
보유기관	대구경북과학기술원
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장비정보

모델명	FPA3000-I4	제작사	Canon
취득일자	2022-12-21	취득금액	1,996,000,000원
5대 미래산업 분류	헬스케어	활용용도	시험
표준분류	기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 리소그래픽장비
장비위치	대구광역시 달성군 현풍면 테크노중앙대로 333 50-1 대구경북과학기술원 중앙기기FAB지원센터 F2층 205호
장비설명	1. 장비설명 (100자 이상 기록 요망) 본 장비는 CMOS 플랫폼 소자 고도화 사업 및 융복합 소자, MEMS, 센서 제작 공정의 미세소자 제작을 위한 최소 선폭 0.35um급 크기의 패턴 공정에 활용되는 반도체 노광 장비입니다. 축소 노광 원리를 이용하여 1/5로 축소 노광이 가능한 장비입니다.
구성 및 기능	2. 구성 및 성능 (100자 이상 기록 요망) 1)Reticle - size : ㅁ5" - Matrial : quartz - Pellicle : pattern-side 2) Wafer - size : 6" 3) Projection - Reduction Ratio : 1:5 - Exposure size : ㅁ20mm max 4) Wave Length : I-line(365nm) 5) Wafer stage - Methode : Air Bearing Stage 6) TV Pre-Alignment - Method : TV Image Processing 7) Retivle Changer - Type : Robot Transfer - Library Slot : 14ea
사용/활용예
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유의사항

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