연구시설장비

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정보제공 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr)

미세 자동 절삭기

Microautomatic Dicing Saw

DRIS No.	DRIS-19-0938
시설장비등록번호	NFEC-2022-03-277242
보유기관	대구경북과학기술원
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장비정보

모델명	DAD3221	제작사	Disco
취득일자	2022-03-02	취득금액	68,381,310원
5대 미래산업 분류	반도체	활용용도	시험
표준분류	기계가공/시험장비 > 절삭장비 > 절단장비
장비위치	대구광역시 달성군 현풍면 테크노중앙대로 333 대구경북과학기술원　 E3 F4층 416호
장비설명	초음파 변환기 제작 시 마이크로미터 단위의 두께를 갖는 dicing saw를 이용하여 시료(압전소자,폴리머, 음향 스택 등)를 정밀하게 절삭할 때 사용하는 장비. 3축 및 회전 방향으로 절삭이 가능하며 현미경이 내재되어 있어 절삭 후 결과를 정밀하게 확인할 수 있음.
구성 및 기능	a. 작업공간: Φ 6“ b. X-축 사양 절삭 범위: 160 mm 절삭 속도: 0.1~800 mm/sec c. Y-축 사양 절삭 범위: 162 mm 인덱스 스탭: 0.0001 mm 인덱스 위치 정확도: 0.005/160 d. Z-축 사양 최대 스트로크: 32.2 mm 이동 해상도: 0.000002 e. 스핀들 사양 스핀들 회전 속도: 3,000~40,000 min-1
사용/활용예	단일소자 또는 배열형 초음파 변환기 제작 시, 압전소자, 폴리머, 음향 스택 등을 원하는 크기로 절삭하거나 하나의 소자를 원하는 크기의 다수의 소자로 구분하기 위해 사용됨. 절삭 시료의 특성에 따라 다양한 blade 장착 가능.
이용안내
유의사항

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