연구시설장비

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정보제공 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr)

진공증착기

Vacuum Evaporator System

DRIS No.	DRIS-1-0854
시설장비등록번호	NFEC-1999-10-034171
보유기관	경북대학교
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장비정보

모델명	UNIVEX 300	제작사	Oerlikon Leybold Vacuum
취득일자	1988-05-01	취득금액	45,447,810원
5대 미래산업 분류	헬스케어	활용용도	시험
표준분류	기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
장비위치	대구광역시 북구 대학로 80 (산격동) 1370 경북대학교 제1과학관 F2 204-1
장비설명	특징 -진공증착시스템 -Model UNIVEX-300
구성 및 기능	-Thermal heater and powersupply(0~250V, 0~6A) -RF Sputtering and power Supply(0~600mA) -e-gun source and power Supply(0~6KV, 0~600mA) -Thickness monitor(INFICON, XTC) -Vacuum System(Rotary and Turbo pumps) -Vacuum chamber(0~10-6 Pa)
사용/활용예	-ZnS : Mn etc 각종 형광체 박막증착 -Al 등 금속박막 증착 -Thermal, RF Suputtering, E-gun에 의한 박막성장
이용안내
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