연구시설장비

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정보제공 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr)

Spin Coating System

Spin Coating System

DRIS No.	DRIS-1-0695
시설장비등록번호	NFEC-2007-10-006011
보유기관	경북대학교
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장비정보

모델명	SPIN-1200D	제작사	마이다스시스템(주)
취득일자	2004-09-24	취득금액	4,000,000원
5대 미래산업 분류	헬스케어	활용용도	시험
표준분류	기계가공/시험장비 > 성형/가공장비 > 코팅기
장비위치	대구광역시 북구 대학로 80 (산격동) 경북대학교 경북대학교 IT 4호관 F2 202
장비설명	특징 Substrate Size : (Piece∼4" wafer Chuck rotation speed : 100∼8000rpm, DC Servo Motor Spin state : 50Step, 20Recipe(Digital Program Type) Time : 1∼999sec, variable Bowl size : 8inch, Al, SUS, Teflon, PP, etc Vacuum chuck : anodized Al, Acetal, Teflon, etc Electrical Power : 220V, 5A Dimension(mm) : 230×340×160 Oilless Vac & pressure : -650mmHg
구성 및 기능
사용/활용예	유기박막 코팅
이용안내
유의사항

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