연구시설장비

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정보제공 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr)

전계방출형주사전자현미경(FE-SEM)

Field Emission Scanning Electron Microscope with EDX system

DRIS No.	DRIS-10-0256
시설장비등록번호	NFEC-2007-10-015656
보유기관	대구기계부품연구원
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장비정보

모델명	S-4300	제작사	Hitachi
취득일자	2003-06-20	취득금액	413,705,000원
5대 미래산업 분류	해당없음	활용용도	시험
표준분류	광학/전자영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경
장비위치	대구광역시 달서구 성서공단로11길 32 (호림동) 12 대구기계부품연구원 연구2동 초가속수명시험실 F1 103
장비설명
구성 및 기능	Model : S-4300 (Hitachi) . 가속전압 : 0.5 ~ 30 kV . 배율 : ×20 ~ ×500000 . 전자총 : Field Emission . 분해능 : 1.5 nm (at 15 kV)
사용/활용예	주사전자현미경 SEM은 매우 큰 에너지를 가진 전자빔이 시료에 충돌할 때 방출되는 2차 전자와 X선을 이용하여 아주 작은 크기의 물체를 관찰하고 성분을 분석하는 기기이며 미세구조와 물성과의 연관성 규명 물성과의 직접적인 관계 규명 재료물성과 조성과의 관계 규명
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