연구시설장비

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정보제공 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr)

감광막 애싱장비

Refurbishiment PR Asher

DRIS No. DRIS-1-0630
시설장비등록번호 NFEC-2007-10-012003
보유기관 경북대학교
담당자
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장비정보

모델명 PR Asher 제작사 피에스케이(PSK)
취득일자 2006-02-08 취득금액 70,000,000원
5대 미래산업 분류 헬스케어 활용용도 시험
표준분류 기계가공/시험장비 > >
장비위치
대구광역시 북구 대학로 80 (산격동) 1370 경북대학교 반도체연구동 B1 B106
장비설명 본 장비는 PSK사(미국)의 PR Asher장비를 기증받아 수리(Refurbishing)한 장비
구성 및 기능 Chuck Size : 4~6“wafer
Gas : N2 O2 CF4
사용/활용예 PR제거 공정진행시 사용
이용안내
유의사항

이용료안내

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