연구시설장비

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정보제공 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr)

TCAD 시뮬레이터

TCAD Simulator

DRIS No.	DRIS-1-0603
시설장비등록번호	NFEC-2007-10-010507
보유기관	경북대학교
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장비정보

모델명	tcad solution	제작사	Silvaco
취득일자	2002-08-30	취득금액	33,000,000원
5대 미래산업 분류	해당없음	활용용도	시험
표준분류	데이터처리장비 > >
장비위치	대구광역시 북구 대학로 80 (산격동) 경북대학교 경북대학교 IT 3호관 F5층 508
장비설명	특징 - 공정 및 소자 설계 및 시뮬레이션
구성 및 기능	1. Interactive Tool - TonyPlot, Interactive Visualization Tool 40 Qnty. - DeskBuild, Inputdeck Development Tool 40 Qnty. - Optimizer, Global Optimization Tool 40 Qnty. - Maskview, Layout Editor for Process Simulator 40 Qnty. - DevEdit, Interactive Device Structure & Mesh Generator 40 Qnty. 2. process Simulator - Athena with Ssuprem 4, 2D Process Simulator - Silicides, 2D Silicidation Simulator - Elite, 2D Etching, Deposition Simulator - Optolith, 2D Optical Lithography Simulator 등 3. Device Simulator 4. 3D Device Simulator
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