연구시설장비

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정보제공 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr)

반도체 진공챔버 분석 시스템

Vacuum Chamber Probe Station

DRIS No. DRIS-1-0557
시설장비등록번호 NFEC-2009-04-070880
보유기관 경북대학교
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장비정보

모델명 MST-6000 제작사 엠에스테크
취득일자 2009-04-17 취득금액 56,500,000원
5대 미래산업 분류 헬스케어 활용용도 시험
표준분류 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 프로브스테이션
장비위치
대구광역시 북구 대학로 80 (산격동) 경북대학교 경북대학교 IT 3호관 F5 508
장비설명 특징

-진공챔버내에서 소자를 프로브 스테이션에 장착한 후 특정 희석 가스를 챔버내에 흘려주어 소자의 가스 특성을 측정함.
-진공챔버와 마이크로현미경시스템 정밀회로탐침기 등으로 구성됨
- MFC가 별도 장치됨
구성 및 기능 구성및성능
- 본체 : Vacuum Chamber Analyze Triaxial Measurement Probing System
- I-V 측정 탐침 시스템
- 마이크로 현미경 시스템
- 정밀회로 탐침기
- 정밀회로 탐침홀더 : Probe Holder - Cal Type
- 진공펌프
- 무진동테이블 : Vibration Table - Air Mount Type
사용/활용예 활용분야
반도체 소자의 전극에 탐침을 정밀하게 위치시켜 전압 또는 전류를 전극에 인가하도록 해줌.

Features
- Easily operating
- Low current(~50 fA level less than)
- Using mainly wafer measurement
- Manufacturing based 6" wafer size
이용안내
유의사항

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