연구시설장비

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정보제공 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr)

두께측정기

ALPHA STEP

DRIS No.	DRIS-19-0822
시설장비등록번호	NFEC-2010-06-080351
보유기관	대구경북과학기술원
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장비정보

모델명	Alpha-Step IQ	제작사	Kla-tencor
취득일자	2008-12-29	취득금액	55,000,000원
5대 미래산업 분류	헬스케어	활용용도	시험
표준분류	물리적측정장비 > 길이/위치측정장비 > 위치측정장비
장비위치	대구광역시 달성군 현풍면 테크노중앙대로 333 대구경북과학기술원 2연구동 F4 410
장비설명	특징 막의 표면의 단차를 이용하여 두께를 측정
구성 및 기능	구성및성능 A. Features 1. Single 2D Scanning Profiler 2. Up to 150mm Diameter Wafer Stage 3. Maunal Leveling Samples Stage & Software Controling Profile leveling 4. Data Display on the LCD Monitor/ Saving 5. Automatic Step Detection and Multiple Cursor Positioning 6. User Manager Database 7. Data Export in ASCII 8. Zooming CCTV Camera B. System Configurations 1. Step Height Precision Scanner 2. Zoom Optics ( 88-237X or 100x - 844x) 3. Stylus 5um Radius 60 or 2um Radius 4. Manual precision X-Y stage 6" diameter theta table or bigger 5. Isolation Hood 6. Window XP operation system w/ Pentium PC H/W 7. LCD Monitor 8. Integrated network card
사용/활용예	활용분야 증착 막의 두께 측정
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