연구시설장비

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정보제공 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr)

초고분해능투과전자현미경

Ultra High resolution TEM

DRIS No.	DRIS-19-0074
시설장비등록번호	NFEC-2019-05-255960
보유기관	대구경북과학기술원
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장비정보

모델명	Themis Z	제작사	Thermo Fisher Scientific
취득일자	2019-03-22	취득금액	3,168,757,954원
5대 미래산업 분류	헬스케어	활용용도	시험
표준분류	광학/전자영상장비 > 현미경 > 투과전자현미경
장비위치	대구광역시 달성군 현풍면 테크노중앙대로 333 50-1 대구경북과학기술원 중앙기기FAB지원센터 F1 107
장비설명	The system is FEG Scanning Transmission Electron Microscope which is designed to deliver the ultimate in performance in all TEM, STEM modes. The acceleration voltage is adjustable from 30 kV. - Symmetric twin objective lens with large pole piece gap allows sub-Ångström performance. The system has Double Cs Ccorrector(TEM/STEM) which is a multi-pole corrector system. - Next-generation spherical aberration correction technology has been added to the system, utilizing ultra-high resolution imaging technology. It can observe images in various fields such as secondary battery, semiconductor, ceramics, energy, environment as well as materials, and it is possible to analyze crystal structure and qualitative and quantitative analysis (EDS, EELS) of materials.
구성 및 기능	1. Main body - Electron Gun system - Electron microscope column - FEG HT Tank - Lens Data - Condenser Lens system - Objective Lens system - Double Cs Corrector (TEM/STEM) - STEM detector (HAADF, BF, ABF, DPC) - Remote control system - Specimen holder system 1) single tilt holder 2) double tilt holder 3) 3D Tomography holder - TEM operating software - Cs auto correction software for aberration corrector system - Flu camera system - 4k x 4k (or higher resolution) CCD Camera for image & diffraction - CCD Camera Embedding - Electron Energy Loss Spectroscopy 1) Quantum ER/965 2) GIF Quantum ER Imaging filter 3) GIF Quantum Upgrade for Dual EELS 4) STEMPack Spectrum Imaging System 5) STEMPack High-speed Spectrum Imaging Upgrade 6) DualEELS Software for GIF Quantum system - SDD EDS Detector for ultra fastest Atomic Mapping - Lorentz Lens - Tomography(TEM, STEM, EDS) Data Acquisition Software
사용/활용예	- 전자총에서 가속된 전자빔이 시편에 도달하여 발생되는 여러 전자 정보 중 투과 및 회절된 전자를 검출하여 극 미소영역에 대한 상 관찰기능을 가지고 있을 뿐만 아니라 원자 수준에서 정성 및 정량분석(EELS, EDS)이 가능함. - 차세대 수차보정기술이 접목된 초고분해능 영상기술을 활용하여 재료분야 뿐만 아니라 2차 전지, 반도체, 세라믹, 에너지, 환경 등 다양한 분야의 시료분석에 활용. - 초고분해능 투과전자현미경은 최신의 구면수차 보정기 및 다양한 분석 옵션들을 구성하여, 기존의 장비가 측정할 수 없었던 Soft Material의 고분해능 이미지 측정 및 자성 시료의 측정이 가능함.
이용안내
유의사항

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