연구시설장비

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정보제공 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr)

나노분광분석용주사전자현미경

Nano Spectro Analysis for FE-SEM

DRIS No. DRIS-TP-NC-0085
시설장비등록번호 NFEC-2010-12-117165
보유기관 대구테크노파크
담당자
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장비정보

모델명 SU-70 제작사 Hitachi
취득일자 2008-09-15 취득금액 626,257,155원
5대 미래산업 분류 해당없음 활용용도 시험
표준분류 광학/전자영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경
장비위치
대구광역시 달서구 성서공단로 46-17 (대천동) 891-5 대구테크노파크 나노융합실용화센터 F1층 나노형상분석실
장비설명 특징
- Electron gun : Schottky Field Emission Type(ZrO/W)
- Accelerating voltage : 0.1~30kV
- Resolution : 1.0nm /15kV 1.7nm/1kV or better
- Magnification : HM mode 100 ~ 800000 - Specimen stage : 5-axis motor drive 150mm dia
- WDS : 6 Crystal turret
- EDS : 133eV peak resolution
구성 및 기능
사용/활용예
이용안내
유의사항

이용료안내

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