연구시설장비

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정보제공 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr)

웨이퍼세정장비

Wet Station System

DRIS No. DRIS-TP-ETC-0052
시설장비등록번호 NFEC-2011-01-142846
보유기관 대구테크노파크
담당자 이재근
연락처
이메일 ljg28@ttp.org

장비정보

모델명 Wet Station 제작사 글로셈
취득일자 2008-09-17 취득금액 53,322,720원
5대 미래산업 분류 해당없음 활용용도 시험
표준분류 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 식각장비
장비위치
장비설명
구성 및 기능
사용/활용예 터구축사업, 지종기, 2004~2008
1. Acid Wet Station
- 적용 Wafer : ~6 inch
- 장비 Demension : W1500*D1100*H2100
- DIW 배관 : Clean PVC, PFA tube(Air valve out~Bath)
- BOE Bath : PTFE, 순환시스템, 온도센서(PT 100ohm)
- H2SO4 bath : Quartz, In-line heater(120℃ ± 5℃)
- QDR bath : N2 Boble, Quick drain
- DIW gun, N2 gun, Goose neck
2. Metal Wet Station
- 적용 Wafer : ~6 inch
- 장비 Demension : W1500*D1100*H2100
- DIW 배관 : Clean PVC, PFA tube(Air valve out~Bath)
- Develop Bath : SUS316, Dip방식
- QDR bath : N2 Boble, Quick drain
- DIW gun, N2 gun, Goose neck
* 외부 전원 220V/ 60Hz 1 phase, 3KVA
* 장비 내 메인 누전 차단기 설치
* 주변 진동 발생형 장비와 함께 설치를 피함.
이용안내
유의사항

이용료안내

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