연구시설장비

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정보제공 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr)

금속유기화합물증착장비(업그레이드)

MOCVD Upgrade

DRIS No.	DRIS-1-0507
시설장비등록번호	NFEC-2011-02-142463
보유기관	경북대학교
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장비정보

모델명	PM KIT D125	제작사	비코코리아주식회사
취득일자	2004-03-25	취득금액	34,650,000원
5대 미래산업 분류	헬스케어	활용용도	시험
표준분류	기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
장비위치
장비설명	MOCVD(Metal Organic Chemical Vapor Deposition)이란 금속 유기 원료를 사용해 기판 위에 박막을 형성시키는 화학증착법을 말합니다. 유기금속화합물은 금속원자와 탄소원자의 결합물을 말합니다. 불안정하고 분해되기 쉬운 유기금속화합물을 수소 등을 사용해 기판 위에 증기 상태로 내보내면 열분해 반응이 일어나면서 금속 상태의 결정이 형성된다. MOCVD는 가장 좋은 품질의 박막을 생산할 수 있는 방법으로 원료가 모두 기체 상태로 공급되므로 원료의 양을 비교적 쉽고 정확하게 조절할 수 있어 여러층의 박막을 형성할 수 있게 합니다. 또 일정 온도로 가열된 기판 외에 다른 온도 영역은 불필요하기 때문에 장치가 간단하고 대량 생산이 가능합니다. 이와 함께 고순도로 정제된 원료를 사용해 박막 특성을 우수하게 만들 수 있고, 많은 양의 이송 기체를 사용하므로 불순물 주입이 적다.
구성 및 기능
사용/활용예
이용안내
유의사항

이용료안내

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