연구시설장비

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정보제공 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr)

단차측정기

Surface profiling measuring system

DRIS No. DRIS-19-0695
시설장비등록번호 NFEC-2012-03-157686
보유기관 대구경북과학기술원
담당자
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장비정보

모델명 Dektak XT 제작사 Bruker
취득일자 2012-01-03 취득금액 79,071,260원
5대 미래산업 분류 헬스케어 활용용도 시험
표준분류 물리적측정장비 > 길이/위치측정장비 > 위치측정장비
장비위치
대구광역시 달성군 현풍면 테크노중앙대로 333 50-1 대구경북과학기술원 중앙기기센터 205 소자클린룸 F2 205
장비설명 1. Surface profiler is stylus-based system that combines high measurement precision with
versatility.
2. This system offers the most complete suite of two-dimensional analysis features for surface
topography analysis on a variety of surfaces including wafers MEMS ceramics SIMS caters
Microlenses and displays.
3. The system boasts the industry's best performance best repeatability and largest standard
scanning range while offering a variety of configurations and add-on options for superior
programmability low-force characterization and detailed analysis
구성 및 기능 : 1. Liner scan method LVDT (Liner Variable Differential Transformer)
2. Digital Zoom and color (100x ~ 570x)
3. Stylus tip 2um in base (60deg)
4. Sample stage size: 8 inch wafer vacuum check Motorized X-Y stage
5. 23" Flat Panel Display monitor
6. Enclosure
7. Vibration Isolation Table(800x 800x 750)
8. Computer (Dell precision windows 7)

Specifications :
1. Step height repeatability : 5 Å
2. Vertical resolution : 1Å
3. Scan length range : 50μm ~ 200mm
4. Stylus force : 1~15 mg
5. Stylus size : 2 12.5 2.5 0.7μm
6. Vertical range : 1nm ~ 1000μm
7. Measurement parameters : Ra(Average roughness) Rq(Root-mean square) ASH(Delta
average step height)
사용/활용예 단차 및 roughness 측정 (2D 3D)
이용안내
유의사항

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