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가스스크러버

Gas scrubber

DRIS No. DRIS-19-0663
시설장비등록번호 NFEC-2012-07-167999
보유기관 대구경북과학기술원
담당자
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장비정보

모델명 MAT 1207BWA 제작사 엠에이티
취득일자 2012-02-23 취득금액 43,890,000원
5대 미래산업 분류 헬스케어 활용용도 시험
표준분류 기계가공/시험장비 > 열유체장비 > 유체정화기
장비위치
대구광역시 달성군 현풍면 테크노중앙대로 333 대구경북과학기술원 2연구동 F7 710
장비설명 1. 진공 공정 장비에서 발생하는 유해 가스 등을 열분해 및 산화 반응에 의해 독성 가스 제거
2. 원자층 증착기, 급속 열처리 장치, 가스 캐비넷 장비 사용

1.1 Scrubber system
1> TOTAL CAPACITY : 1000slm ( 처리 가스 종류 : H2S, H2Se, DESe)
2>OPERATION TEMPERATURE : 750 ~ 800℃
3>INLET PORT: 4 port, 가스 주입 압력계 설치
4>OUTLET port : 1port flange
5> material : 내 부식에 강한 재질
6> Bun chamber system
- 2개의 독립적인 Heater (Kanthal Heater) 및 thermo couple 구성
- 외부에서 Heater 교체 가능 (사용자가 쉽게 교체 가능하게 구성)
- 열차단을 위한 이중벽 구조 설계
- 고온의 Burn chamber와 습기가 많은 wet chamber 경계 부분에 air curtain
설계하여 방생하는 powder 적체 방지 구조 설계
- 폭발에 안전한 설계 구조로 설계 (Wet chamber 완충장치 역할
7> wet chamber system
- Wetting 공간2중벽 absorber zone 설계
- powder 막힘 방지 및 처리 효율 높게 구성
- 2개 이상의 target spray nozzle 구성
- 1개 이상의 self cleaning water nozzle 구성
- material : Stainless steel absorber 사용
- water 수위 자동 조절 센서- 전극봉 타입 센서 사용
8> Exhaust line
- 3rd absorber Zone 구성
- Mist 방지를 위한 pipe 형 nozzle 사용
- Supply Fresh water 구성 ( 최종 wetting Zone)
- 출구 압력계 설치
구성 및 기능 1. 진공 공정 장비에서 발생하는 유해 가스 등을 열분해 및 산화 반응에 의해 독성 가스 제거
2. 원자층 증착기, 급속 열처리 장치, 가스 캐비넷 장비 사용

1.1 Scrubber system
1> TOTAL CAPACITY : 1000slm ( 처리 가스 종류 : H2S, H2Se, DESe)
2>OPERATION TEMPERATURE : 750 ~ 800℃
3>INLET PORT: 4 port, 가스 주입 압력계 설치
4>OUTLET port : 1port flange
5> material : 내 부식에 강한 재질
6> Bun chamber system
- 2개의 독립적인 Heater (Kanthal Heater) 및 thermo couple 구성
- 외부에서 Heater 교체 가능 (사용자가 쉽게 교체 가능하게 구성)
- 열차단을 위한 이중벽 구조 설계
- 고온의 Burn chamber와 습기가 많은 wet chamber 경계 부분에 air curtain
설계하여 방생하는 powder 적체 방지 구조 설계
- 폭발에 안전한 설계 구조로 설계 (Wet chamber 완충장치 역할
7> wet chamber system
- Wetting 공간2중벽 absorber zone 설계
- powder 막힘 방지 및 처리 효율 높게 구성
- 2개 이상의 target spray nozzle 구성
- 1개 이상의 self cleaning water nozzle 구성
- material : Stainless steel absorber 사용
- water 수위 자동 조절 센서- 전극봉 타입 센서 사용
8> Exhaust line
- 3rd absorber Zone 구성
- Mist 방지를 위한 pipe 형 nozzle 사용
- Supply Fresh water 구성 ( 최종 wetting Zone)
- 출구 압력계 설치
사용/활용예 1. 진공 공정 장비에서 발생하는 유해 가스 등을 열분해 및 산화 반응에 의해 독성 가스 제거
2. 원자층 증착기, 급속 열처리 장치, 가스 캐비넷 장비 사용

1.1 Scrubber system
1> TOTAL CAPACITY : 1000slm ( 처리 가스 종류 : H2S, H2Se, DESe)
2>OPERATION TEMPERATURE : 750 ~ 800℃
3>INLET PORT: 4 port, 가스 주입 압력계 설치
4>OUTLET port : 1port flange
5> material : 내 부식에 강한 재질
6> Bun chamber system
- 2개의 독립적인 Heater (Kanthal Heater) 및 thermo couple 구성
- 외부에서 Heater 교체 가능 (사용자가 쉽게 교체 가능하게 구성)
- 열차단을 위한 이중벽 구조 설계
- 고온의 Burn chamber와 습기가 많은 wet chamber 경계 부분에 air curtain
설계하여 방생하는 powder 적체 방지 구조 설계
- 폭발에 안전한 설계 구조로 설계 (Wet chamber 완충장치 역할
7> wet chamber system
- Wetting 공간2중벽 absorber zone 설계
- powder 막힘 방지 및 처리 효율 높게 구성
- 2개 이상의 target spray nozzle 구성
- 1개 이상의 self cleaning water nozzle 구성
- material : Stainless steel absorber 사용
- water 수위 자동 조절 센서- 전극봉 타입 센서 사용
8> Exhaust line
- 3rd absorber Zone 구성
- Mist 방지를 위한 pipe 형 nozzle 사용
- Supply Fresh water 구성 ( 최종 wetting Zone)
- 출구 압력계 설치
이용안내
유의사항

이용료안내

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