연구시설장비

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정보제공 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr)

엘립소메타 시스템

Ellipsometer system

DRIS No.	DRIS-19-0616
시설장비등록번호	NFEC-2013-03-176716
보유기관	대구경북과학기술원
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장비정보

모델명	Auto SE	제작사	Horiba
취득일자	2012-01-31	취득금액	94,972,434원
5대 미래산업 분류	헬스케어	활용용도	시험
표준분류	광학/전자영상장비 > 광파발생/측정장비 > 타원계
장비위치	대구광역시 달성군 현풍면 테크노중앙대로 333 50-1 대구경북과학기술원 중앙기기센터 205 소자클린룸 F2 205
장비설명	엘립소메타 시스템 박막증착 공정 후의 두께를 ellipsometry의 원리로서 측정하는 연구개발 장비임.
구성 및 기능	Substrate : 조각 ~ 8” wafer - Wafer Transfer : Manual - Light source : Combination halogen blue LED - Wavelength : 440 ~ 850nm - Sample stage : 200 mm x 200 mm automatic XYZ adjustment vacuum check Z height 50 mm - Spot size : 500μm x 500μm 250μm x 500μm 250μm x 250μm 100μm x 100μm 50μm x 60μm 25μm x 60μm - Wavelength resolution : 2 ~ 3 nm - CCD Integration Time : from 8ms to 1s - Measurement range : 10nm ~ 50um - Multi-layer measurement : up to 3 layers - Halogen Lamp : 5V/0.1A 10000 hours lifetime - Measurement time : < 1 s typical 5 s
사용/활용예	기본적인 박막의 두께뿐만 아니라 굴절율 등을 측정하는데 활용되는 연구개발 장비임. 미세소자 제작 일괄공정 수행에 있어 기본적인 두께 측정장비로서 공정의 재현성 제고를 기함.
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