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정보제공 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr)

패럴린코팅시스템

Parylene coating system

DRIS No.	DRIS-19-0046
시설장비등록번호	NFEC-2019-12-259739
보유기관	대구경북과학기술원
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장비정보

모델명	LAVIDA-110H	제작사	펨토사이언스(Femto Science)
취득일자	2018-07-10	취득금액	29,400,000원
5대 미래산업 분류	헬스케어	활용용도	시험
표준분류	기계가공/시험장비 > 성형/가공장비 > 코팅기
장비위치	대구광역시 달성군 현풍면 테크노중앙대로 333 대구경북과학기술원　 E5 F5 522
장비설명	○ 생체 내 삽입 전극의 제작에 있어서 생체적합성이 매우 우수하고 유연한 기계적 특성을 가지는 패럴린의 증착 ○ 패럴린은 전기전도성이 매우 낮고 습기 및 화학 반응에 대해 안정성이 우수하여 생체전극의 절연막으로써 사용가능 함. ○ 패럴린은 높은 영률을 가지기 때문에, 영률이 낮은 PDMS와 같은 폴리머 재료 상에서의 MEMS 공정을 수월하게 해줌.
구성 및 기능	1) 기화기 (Vaporizer) 가) 기능 - 고체 (Powder 형태)인 패럴린 다이머 (Dimmer)를 진공상태에서 기화 시켜서 열분해기로 흘려보내는 기능 나) 사양 - 기화기 온도 조정 범위 : 상온 ~ 200℃ - 기화기 도어 온도 조정 범위 : 상온 ~ 200 ℃ - 기회기 온도 측정 위치 : 2 x positions - 온도 측정 센서 : K-type 센서 ( x 2 ea) - 다이머 로딩 용량 : Max. 50g - 온도 및 유지시간 설정 : 최대 10-step 설정 2) 열분해기 (Pyrolizer) 가) 기능 - 기화된 패럴린 다이머를 모노머 (monomer) 로 열분해하여 증착 챔버로 이송 나) 사양 - 온도 조정 범위 : 상온 ~ 900℃ - 가열 영역 : 3 영역으로 구분 - 히터 구성 : 3개의 히터로 독립적 구동 - 온도 측정 센서 : K-type (x 3 ea) - 노관 (Furnace Tube) 재질 : 고순도 쿼츠 3) 증착챔버 (Deposition Chamber) 가) 기능 - 열분해기를 지난 유입되는 모노머가 증착되어 폴리머 (= parylene polymer)층을 형성하는 영역으로 균일한 증착을 위하여 피착물의 회전과 이를 조절하는 모터 및 구동부로 구성 - 플라즈마 결합을 위한 Quartz 챔버 나) 사양 - 챔버 형식 : 횡형 챔버 - 챔버 크기 : I.D. 200mm, Length 400mm. - 챔버 도어 : 정면, 수동개폐 - 피착물 회전 지그 및 피착물 운송판 - 회전속도 : 프로그램설정가능, 0-30 RPM 4) 진공모듈 및 냉각트랩 (Vacuum Module & Cold Trap ) 가) 기능 - 진공모듈은 기화기부터 증착 챔버까지 진공을 유지하며, 냉각트랩은 증착 챔버를 지난 패 릴린 잔유물이 진공경로에 침착 혹은 펌프의 기능을 저하하여 종국에 증착성능이 저하되는 것을 방지할 목적으로 보호용 장치임.
사용/활용예	패럴린 코팅은 의료, 바이오 분야 및 전기, 전자, 반도체 분야에 걸쳐 매우 광범위 하게 사용되고 있음. 따라서 각 전공의 다수의 연구자들에 의한 수요 가 매우 많은 장비중의 하나가 패럴린 코팅 시스템임.
이용안내
유의사항

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