연구시설장비

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정보제공 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr)

다목적 분석용 주사전자현미경

Multi-purpose Analytical FE-SEM

DRIS No.	DRIS-19-0519
시설장비등록번호	NFEC-2013-06-179769
보유기관	대구경북과학기술원
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장비정보

모델명	SU-70	제작사	Hitachi
취득일자	2013-01-08	취득금액	675,223,811원
5대 미래산업 분류	헬스케어	활용용도	시험
표준분류	광학/전자영상장비 > >
장비위치	대구광역시 달성군 현풍면 테크노중앙대로 333 50-1 대구경북과학기술원 중앙기기센터 205 소자클린룸 F1 102
장비설명	전자빔을 사용하여 시료 표면의 영상 성분 결정방위 해석 등 미세조직 표면의 각 종 정보를 얻을 수 있는 장비로써 다양한 확장 port 를 통해 여러 가지 필요 Detector 를 부착이 가능하다. 특히 Electron Back-Scattered Diffraction System 장착해서 시료의 미세구조와 결정방위를 해석하는 용도로 사용한다. 이는 기존에 불가능 했던 거시집합 조직 해석 및 미세 조직관계를 규명 할 수 있어 재료학 응용분야에 필수적으로 기여하는 장비이다.
구성 및 기능	1. This instrument should be possible to get ultra-high resolution image and EDS & EBSD data easily. 2. In order to have optimum performance for ultra-high resolution and analysis work the probe current can be allowed max. 200nA or better. 3. Air-lock chamber should be equipped standard configuration of this system for anti-contaminations in the chamber especially for using electron backscattered diffraction. 4. This SEM should be possible to save various conditions of the electron optics in multi-user by assigning the condition number to them and reset the same conditions by designing the corresponding number. 5. To effective maintaining high clean vacuum system it should be equipped magnetic floating type Turbo Molecular Pump and anti-contamination trap which using for maintenance cost-free. 6. High-Definition Image Recording should permit recording of SEM images in a maximum image size of 5120 x 3840 pixels or better in BMP TIFF and JPEG format. 7. EDS/X-ray micro-analysis system offe
사용/활용예	SEM(주사전자현미경)의 경우는 분석기능은 에너지 분산분광분석(EDS) 파장분광분석 오제이전자를 이용한 원소분석등에 국환되어 왔다. SEM은 일반적으로 분석용현미경이라기 보다는 주로 시편표면에서 방출되는 2차 전자를 이용한 미세구조의 영상 구현을 위한 장비로 알려져 왔다. 그렇지만 최근에는 SEM을 이용한 강력한 결정 방위분석 기술인 EBSD가 개발되어 SEM의 분석기능이 주목받고 있다. EBSD는 후방산란전자의 회절패턴을 분석하여 시편내 결정립의 방위를 분석하는 방법이다.
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