연구시설장비

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정보제공 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr)

시간 비행형 이차 이온 질량 분석기

Time of Flight Secondary Ion Mass Spectrometry

DRIS No.	DRIS-19-0434
시설장비등록번호	NFEC-2014-01-184843
보유기관	대구경북과학기술원
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장비정보

모델명	TOF-SIMS 5-100	제작사	Ion-tof
취득일자	2013-12-20	취득금액	1,709,594,475원
5대 미래산업 분류	헬스케어	활용용도	시험
표준분류	화합물전처리/분석장비 > 질량분석장비 > 메트릭스보조레이저탈착이온화질량분석기
장비위치	대구광역시 달성군 현풍면 테크노중앙대로 333 50-1 대구경북과학기술원 중앙기기센터 205 소자클린룸 F1 101
장비설명	반도체 DISPLAY(LCD. LED OLED) 이차전지 Solar cell polymer 유기물 bio research GLASS PAINT 등 다양한 분야에서 요구되는 복합시료의 분석에 최적화 된 표면분석 장비임.
구성 및 기능	Bi cluster ion source - Max. beam energy : 30 KeV - Min. beam diameter : 80 nm Analyzer - Mass resolution (29 u) : > 11000 - Mass resolution (> 200 u) : >16000 O2 and Cs dual source for Depth profiling Ar Cluster source for organic depth profiling Ar Cluster source for organic analysis Secondary electron detector A motorized five-axes UHV sample stage with
사용/활용예	NANO 분석 유기물 분석 미량분석 3-D IMAGE 등에서 필요한 정보 처리
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