연구시설장비

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정보제공 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr)

임피던스분석기

Impedance Analyzer

DRIS No. DRIS-1-0326
시설장비등록번호 NFEC-2015-05-202730
보유기관 경북대학교
담당자
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장비정보

모델명 E4991A 제작사 Agilent Technologies
취득일자 2005-08-19 취득금액 52,782,380원
5대 미래산업 분류 UAM,반도체,헬스케어 활용용도 시험
표준분류 전기/전자장비 > 측정시험장비 > 다기능임피던스측정시험장비
장비위치
대구광역시 북구 대학로 80 (산격동) 1370번지 IT대학 2호관 F2층 243호
장비설명 신제품인 Agilent E4991A RF 임피던스/재료 분석기는 근본적인 임피던스 측정 성능과 강력한 내장 분석 기능을 제공합니다. 3 GHz 범위에서 구성요소를 평가하는 부품 및 회로 설계자의 R&D에 혁신적인 기능을 제공할 것입니다. Agilent E4991A는 넓은 임피던스 범위에 걸쳐 보다 정확한 임피던스 측정을 제공하기 위해 반사측정 기법과는 대조적으로 RF-IV 기법을 사용합니다. 기본적인 임피던스 정확도는 +/-0.8%입니다. 높은 Q 정확도로 인해 저 손실의 부품 분석이 가능합니다. 내부 신디사이저는 1 mHz의 분해능으로 1 MHz에서 3 GHz까지의 주파수를 스위프 합니다.
재료 평가
재료 평가 Agilent E4991A는 폭 넓은 주파수 범위 (1 MHz에서 1 GHz)에서 전체적인 유전체/자기 재료 측정 솔루션을 제공합니다.
웨이퍼 상에서의 측정
웨이퍼 상에서의 측정 Opt.010 프로브 스테이션 연결 키트는 Agilent E4991A를 Cascade Microtech의 RF 프로브 시스템에 손쉽게 연결하여 웨이퍼 상에서 임피던스 측정을 수행할 수 있도록 합니다.
구성 및 기능 기본 정확도
?기본 정확도 +/-0.8%
스위프 파라미터
?주파수: 1MHz~3GHz
?발진기 레벨: 최대 1dBm/0.5Vrms/10mArms
?DC 바이어스 레벨(옵션 E4991A-001): +/- 40V 또는 +/- 50mA

추가 특징
?Windows 방식의 사용자 인터페이스
?내장 VBA 프로그래밍 기능
?LAN 인터페이스를 통한 데이터 전송

다목적 측정 옵션
?유전/자성 재료 측정(옵션 E4991A-002)
?신뢰할 수 있는 온웨이퍼 측정(옵션 E4991A-010)
?온도 특성 측정(옵션 E4991A-007)
사용/활용예
이용안내
유의사항

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