연구시설장비

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정보제공 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr)

플라즈마 진공챔버모듈

plasma vacuum chamber module

DRIS No.	DRIS-19-0328
시설장비등록번호	NFEC-2015-10-205632
보유기관	대구경북과학기술원
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장비정보

모델명	모델명 없음	제작사	코리아바큠테크㈜
취득일자	2015-09-25	취득금액	83,780,000원
5대 미래산업 분류	헬스케어	활용용도	시험
표준분류	기계가공/시험장비 > >
장비위치	대구광역시 달성군 현풍면 테크노중앙대로 333 디지스트 디지스트 R3 F7 711
장비설명	- CZTS 태양전지 흡수층을 형성하기 위해서 Cu, Zn, Sn 타겟을 활용하여 박막 증착 - 황화 화합물 및 셀렌 화합물 단일 박막 증착 뿐만 아니라, 순수 금속 증착 가능 - 그외 일반적인 소자 제작 및 전극을 위한 박막 형성 공정용
구성 및 기능	1) PROCESS CHAMBER - MATERIAL : SUS 304 - SIZE : Φ600 X 350(H) - 8" CF FLANGE FOR HEATER MOUNT PORT : 1 EA - MAIN PUMPING PORT : 1 EA - SPUTTER GUN PORT : 4 EA - I.D 6" FLANGE FOR VIEW WINDOWS PORT : 1 EA - 2.75" CF FLANGE FOR GAUGE & GAS & EXTRA PORT : 6 EA - 1.33" CF FLANGE FOR SHUTTER PORT : 2 EA - CHAMBER WALL ELECTRO POLISHING & WATER COOLING - CHAMBER INTERNAL SHIELD COVER : 1 SET - TOP FLANGE OPEN/CLOSE TYPE (PNEUMATIC, BY AIR CYLINDER TYPE) - ATM SENSOR FOR CHAMBER INTERLOCK 2) LOADLOCK CHAMBER UNIT 2.1) LOADLOCK CHAMBER . MATERIAL : SUS 304 . SIZE : 250 X 150(H) CYLINDRICAL TYPE . TOP FLANGE WITH I.D 4" VIEW WINDOWS PORT : 1 EA . TOP FLANGE OPEN /CLOSE TYPE (BY GAS SPRING) . MAIN GATE PORT : 1 EA . SAMPLE TRANSFER MOUNT PORT : 1 EA . CF 2.75" FLANGE FOR GAUGE & EXTRA PORT . CHAMBER WALL ELECTRO POLISHING 2.2) SAMPLE TRANSFER UNIT - 36" SAMPLE TRANSFER FOR SAMPLE LOADING & UNLOADING WITH FORK . RAIL TYPE (NON MAGNET) . RAIL & RAIL GUIDE & HOUSING 일체 . CF 2.75" ROTARY MOTION FEEDTHROUGH : 1
사용/활용예	사용예 - Cu, Zn, Sn 등의 단일 금속 박막 증착 - CuS, ZnS, SnS 등의 황화 화합물 금속 박막 증착 - CuSe, ZnSe, SnSe 등의 셀렌 화합물 금속 증착
이용안내
유의사항

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