연구시설장비

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정보제공 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr)

단차측정기

Surface profiler

DRIS No.	DRIS-19-0319
시설장비등록번호	NFEC-2016-01-207183
보유기관	대구경북과학기술원
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장비정보

모델명	AlphaStep D-500	제작사	Kla-tencor
취득일자	2015-12-15	취득금액	39,623,250원
5대 미래산업 분류	헬스케어	활용용도	시험
표준분류	물리적측정장비 > 길이/위치측정장비 > 위치측정장비
장비위치	대구광역시 달성군 현풍면 테크노중앙대로 333 50-1 대구경북과학기술원 중앙기기센터 205 소자클린룸 F2 205
장비설명	* 단차측정기(Surface profiler) 장비설명(기능) - 시료에 대해 TOF-SIMS 및 XPS 등의 장비에 대한 박막 depth profile 분석시 깊이 측정 용도로 활용
구성 및 기능	1. Step Height Precision Scanner 2. Stylus Tip : ≤ 2um, 60 degree 3. Manual precision X-Y stage : ≥80 X 20mm 4. Isolation Hood : Yes 5. Step Height Standard : 1um & 50um
사용/활용예	○ 시료에 대한 박막 depth profile 분석시 깊이 측정 용도로 사용. ○ 기존의 단차측정기와 비교했을 때 측정 분해능, 반복측정 재연성 측면에서 보다 정밀한 측정이 가능하여 신뢰도 높은 데이터 제공에 기여 할 수 있음.
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