연구시설장비

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정보제공 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr)

글로브박스

Glovebox

DRIS No.	DRIS-19-0293
시설장비등록번호	NFEC-2016-04-209094
보유기관	대구경북과학기술원
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장비정보

모델명	KK-011-AS	제작사	고려기연
취득일자	2016-01-22	취득금액	34,020,000원
5대 미래산업 분류	헬스케어	활용용도	시험
표준분류	기계가공/시험장비 > 열유체장비 > 글로브박스
장비위치	대구광역시 달성군 현풍면 테크노중앙대로 333 50-1 대구경북과학기술원 E2 F3 320
장비설명	금속 및 비금속과 같은 재료를 진공 중에서 가열, 증발 시켜서 이를 피착물에 나노 스케일로 증착시킬 수 있도록 고진공을 유지시키기 위한 장비로서, 유기태양전지의 전극으로 사용되는 Al, Ag, LiF, MoO3 등의 고진공 증착을 목적으로 사용됨. 확장성을 고려하여 Thermal Evaporation과 향후 E-beam, sputter system을 docking할 수 있기 때문에 폭넓은 process 구현이 가능.
구성 및 기능	Process Chamber,　Pumping System,　Glove Box,　Control System, Process Chamber로 구성되어 있으며, glove box와 process chamber를 일체형으로 구성하여 유기태양전지의 전극으로 사용되는 Al, Ag, LiF, MoO3 등의 고진공 증착에 적합한 성능을 가짐.
사용/활용예	유기태양전지의 유기박막을 글로브 박스에서 형성시킨 후 유기박막 위에 전극(Al, Ag, LiF, MoO3 등)을 고진공에서 나노 스케일의 두께로 형성하여 유기태양전지 제작을 완료 할 수 있음.
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