연구시설장비

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정보제공 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr)

전계방사형 주사전자현미경

Field Emission Scanning Electron Microscope

DRIS No. DRIS-1-0180
시설장비등록번호 NFEC-2016-05-209715
보유기관 경북대학교
담당자
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장비정보

모델명 SU8220 제작사 Hitachi
취득일자 2014-08-13 취득금액 503,043,910원
5대 미래산업 분류 반도체,로봇,헬스케어 활용용도 시험
표준분류 광학/전자영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경
장비위치
대구광역시 북구 대학로 80 경북대학교 공동실험실습관 공동실험실습관 F1층 119
장비설명 전도성을 띄는 시료의 표면조직에 전자빔을 주사하여 고배율까지 입체적으로 관찰이 가능하며, 전자선을 이온증착된 시료표면위에 주사하여 시료에서 반사된 2차 전자에 의해 시료의 미소부분 형태까지 관찰
구성 및 기능 - Resolution : 0.8nm(at 15kV)
- Magnification : 최대 1,000,000배
- Accelerating voltages : 0.01~30kV
- EDS 성분 분석
사용/활용예
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