연구시설장비

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정보제공 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr)

일립소미터

Spectroscopic Ellipsometer

DRIS No.	DRIS-18-0204
시설장비등록번호	NFEC-2016-08-211336
보유기관	경북대학교 산학협력단
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장비정보

모델명	GES5	제작사	Sopra
취득일자	2004-10-13	취득금액	404,683,250원
5대 미래산업 분류	헬스케어	활용용도	시험
표준분류	광학/전자영상장비 > 광파발생/측정장비 > 타원계
장비위치	대구광역시 북구 대학로 80 경북대학교 공동실험실습관 공동실험실습관 F4층 408
장비설명	엘립소미터는 입사광과 반사광의 편광의 변화량을 측정하여, 그 결과에서 막두께(d), 복소굴절율(n, k)을 산출하는 장치이다.엘립소미터는 재료의 파괴 없이 두께 및 n, k 값을 측정 가능하다.
구성 및 기능	- Spectra range : 190 ~ 2,000 nm - Angle of Incidence : 7 to 90 - Measuring time : 1 sec (multi-channel CMA-CCD mode) < 5 min ( high resolution Scanning mode) - Accuracy Specifications : 9 on thickness
사용/활용예
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