연구시설장비

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정보제공 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr)

HCI 부품소재 발열측정 공초점 열반사현미경

Confocal Thermal Reflectance Microscope for HCI component

DRIS No.	DRIS-TP-NC-0001
시설장비등록번호	NFEC-2020-11-265626
보유기관	대구테크노파크
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장비정보

모델명	CTRM750	제작사	나노스코프시스템즈
취득일자	2020-10-05	취득금액	93,990,000원
5대 미래산업 분류	해당없음	활용용도	시험
표준분류	광학/전자영상장비 > 현미경 > 공초점현미경
장비위치	대구광역시 달서구 성서공단로 46-17 대구테크노파크 신기술산업지원센터 나노융합실용화센터 F2층 나노물성분석실호
장비설명	• 레이저 포인트 빔 스캐닝 방식의 광학적인 비접촉 방식으로 관측하면서 온도에 따른 반사율의 변화를 감지하여 시료의 발열 특성을 분석 • 소자의 발열에 의한 온도 분포를 마이크로미터 수준의 현미경 분해능으로 관찰할 수 있는 공초점 열반사 현미경 • 광학 현미경 중 우수한 해상도와 깊이 분별력을 갖는 공초점 현미경 기능이 포함되어 반도체 등 미세 패턴 제작 과정과 제작 중 생기는 결함들을 보다 면밀히 확인 가능 • 열분포 영상 외에도 z-stack 메커니즘과 연동하여 3차원 이미지로의 구성이 가능하여, 3D 프로파일 분석을 위한 다양한 분석 기능을 제공
구성 및 기능	1) 레이저 파장 : 635 nm 2) 스캔속도 : 실시간 레이저 스캔 이미징 가능 - 20 fps @ 1024 x 768 pixels (Bi-directional scan) - 10 fps @ 1024 x 768 pixels (Uni-directional scan) 3) 스캔 방식 : Resonant scanner 및 Galvanometer에 의한 포인트 빔 스캐너 방식 - X축 스캐너 : Resonant scanner (8KHz line frequency 이상) - Y축 스캐너 : Galvanometer scanner 4) 스캔 해상도 : 1024 x 768, 1024 x 384, 1024 x 192, 1024 x 96 pixels 의 4단계 조정 가능 5) 광 디텍터 : PMT(photomultiplier tube) 디텍터 - PMT에 의한 레이저 공초점 스캔 영상과, 광학 CCD 컬러 영상이 동시에 디스플레이 됨 6) 측정 성능 : 공간 분해능과 온도 분해능 - 횡방향 분해능 (Lateral resolution) : 0.3 um (선/공간 반복 시편 기준) - 축방향 분해능 (Axial resolution) : 0.8 um - 온도 분해능 (Thermal resolution) : 1℃ 이하 - 유효 열영상 해상도 (Active thermal pixel) : 1024x768 pixels 7) 프로브스테이션 : 1축의 모터방식 및 5축의 매뉴얼 방식의 이송 자유도를 갖추고 있음 - Motorized Z-stage : 공초점 열반사 현미경 헤드를 전동 방식에 의해 상하로 움직일 수 있어 다양한 두께 의 시편에 대해서 초기 위치를 설정할 수 있음. (Stroke: 50 mm) - 현미경 이송용 매뉴얼 XY 스테이지 : 공초점 열반사 현미경 헤드가 장착된 프레임 전체를 X, Y 방향으로 이동시키기 위한 스테이지로, 시편을 고정한 상태에서 열반사 현미경 헤드를 이동시켜 관찰 영역을 변경할 수 있음(Stroke: 13x13 mm) - 시편 이송용 매뉴얼 XYZ 스테이지 : 시편을 X, Y, Z 방향으로 이송할 수 있는 스테이지로 초기 시편의 위치 를 찾는 용도(Stroke: 18x18x14 mm) - 마이크로 포지셔너 및 프로브 팁 : Micro-positioning 장치에 연결된 프로브 팁(Probe tip) 3개 8) Thermoelectric heating vacuum plate : 프로브스테이션에 장착되어 대물대 역할을 수행함. 시편을 고정하며, 고정 상태에서 온도를 제어하여 시편에 온도를 가할 수 있는 장치 - 진공 척(Vacuum chuck) : 진공 방식으로 시편을 고정 - 온도 제어 범위 : Room temperature에서 최대 120℃ 까지 가열 및 냉각 - 가열/냉각 방식 및 반응 속도 : Peltier 소자를 이용한 열전효과에 의한 빠른 온도 제어 방식. 상온에서 90℃ 까지 약 2분/ 90℃에서 상온까지 약 5분 이내로 가열 및 냉각 - 열전쌍(Thermocouple) 센서가 장착되어 플레이트의 표면 온도를 실시간 모니터링 및 피드백 제어 9) 관찰 대물렌즈 및 관찰 영역 - 대물렌즈 : 20X (NA/W
사용/활용예
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