연구시설장비

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정보제공 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr)

롤투롤진공코팅시스템

Roll to Roll Vacuum Coating System

DRIS No.	DRIS-TP-NC-0015
시설장비등록번호	NFEC-2016-09-211734
보유기관	대구테크노파크
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장비정보

모델명	RS-80	제작사	화인솔루션
취득일자	2015-08-31	취득금액	1,250,000,000원
5대 미래산업 분류	해당없음	활용용도	시험
표준분류	기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 유기금속화학증착장비
장비위치	대구광역시 달서구 성서공단로 46-17 (대천동) 891-5 대구테크노파크 나노융합실용화센터 F1 101
장비설명	- TSP 시제품공정라인의 공정 중 투명 전극소재의 인덱스 매칭, 보호층 및 금속(SiOx,SiNx, Al, Zn etc) 형성을 위한 공정 목적으로 하는 장비임. - 연성소재생산공정으로 다양한 재료에 대한 연속 대면적 처리가 가능한 Roll to Roll공정을 바탕으로 하는 웹 코팅시스템 - 빠른 공정속도, 대량생산, 낮은 생산단가를 목표로 하는 공정기술개발을 위한 시제품 제작용으로써 최적의 시스템
구성 및 기능	-Maximum Film width : 400 mm -Maximum Film length : 800 M -Vacuum Chamber : STS304L 6 zone : UW, BF, Process1, Process2, Process3, RW -Pump(내화학 공정 가능) : Oil rotary pump, Dry pump, MBP, TMP(coated blade), Polycold (외산 Dual) -Valves : High Vacuum Valve (ISO250. VAT) -Vacuum condition : Up to 10-4 Pa -Web. Speed : Max. 10MPM -Uniformity : 5% (thickness) -Operation Mode Auto pumping / Auto Venting / Recipe Op / Process Manual mod e / Data logging etc. -System Functions 1) Pretreatment Module : linear ion gun 2) SiO2 PE-CVD module (PECVD). DDR : ≥ 200 nm m/min 3) Thermal Evaporation Module(저온 Effusion cell) : 증착가능한 polymer, Al, Zn, In, Sn, Li 등 - Utility 1) 전원 : 380V, 60Hz, 3 phase, 150 kW 2) Water : DI, Max. 4.5kg·f/cm2, 100 liter/min 3) N2 Gas Supply : Dry Pump 2kgf/cm2 4) High Pressure Air : CDA . Min. 6.5 kg·f/cm2 5) Scrubber system for Cl coating shield(source, chamber wall)
사용/활용예	- 광학코팅은 물론 진공 Thermal Evaporation unit 을 추가하여 저융점물질의 박막을 증착하는데 다용도로 활용. - 감성터치를 위한 저굴절 SiO2층의 형성과 광학적 설계를 통한 LR. 증반사 등을 롤 필름에도 응용할 수 있는 분야로 활용.
이용안내
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