연구시설장비

서브비주얼 배경이미지

정보제공 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr)

이중분석주사전자현미경

FE-SEM with Dual EDS

DRIS No.	DRIS-TP-NC-0010
시설장비등록번호	NFEC-2016-11-212968
보유기관	대구테크노파크
담당자
연락처
이메일

장비정보

모델명	GeminiSEM 300	제작사	Carl Zeiss
취득일자	2016-08-29	취득금액	600,000,000원
5대 미래산업 분류	해당없음	활용용도	시험
표준분류	광학/전자영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경
장비위치	대구광역시 달서구 성서공단로 46-17 (대천동) 891-5 대구테크노파크 나노융합실용화센터 F1층 나노물성분석실
장비설명	- 열적데미지에 취약한 시료, 무전도처리 후 극표면 미세형태분석, 자성시료, 표면 및 투과상 동시분석, 원소별 분포이미지(BSE), 요철시료의 원소분포분석, 경원소 분포분석에 활용 가능
구성 및 기능	- Electron sourec : Schottky field emitter - 분해능 : 0.6 nm@ 15 kV, 1.1 nm@ 1 kV(non-deceleration) - 가속전압 : 0.02 kV ~ 30 kV(step 10 V) - Probe current : 3 pA ~ 20 nA(stability 0.2 %/h) - 배율 : 20 ~ 2,000,000 배(accuracy ± 1%) - In-lesed SED, LV-SED, BSE, E-T, IR-CCD, STEM - LN2 free 80 mm2 SDD EDS x 2 set
사용/활용예
이용안내
유의사항

이용료안내

담당자에게 문의하시기 바랍니다.