연구시설장비

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정보제공 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr)

비접촉 미세형상 측정기

Optical surface profiler

DRIS No.	DRIS-19-0256
시설장비등록번호	NFEC-2017-02-236409
보유기관	대구경북과학기술원
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장비정보

모델명	NV-2700	제작사	나노시스템
취득일자	2016-10-14	취득금액	95,840,000원
5대 미래산업 분류	반도체	활용용도	시험
표준분류	물리적측정장비 > 표면특성측정장비 > 표면거칠기/미세구조측정장비
장비위치	대구광역시 달성군 현풍면 테크노중앙대로 333 50-1 대구경북과학기술원 중앙기기센터 205 소자클린룸 F2 205
장비설명	- 백색광주사간섭계(WSI) 원리로 표면의 형상을 측정할 수 있는 장비로서 포토 및 식각 전후 패턴의 높이, 거칠기 및 조도 등을 측정할수 있음 - 패턴형성 후 패턴의 높이, 표면의 거칠기 그리고 조도 등을 비파괴 형식으로 측정할 수 있는 범용성 및 활용성이 높은 장비임.
구성 및 기능	□ 주요 구성 - Scanning Method : 16bit LVDT Sensor closed-loop controlled PZT scanning - Scanning Range(height) : Z-axis, ~10mm - Scanning speed(High accuracy mode) : 2.4um/sec(x1~x5 user-selectable) - Resolution (Z Axis) : WSI < 0.5 nm, PSI < 0.1 nm - Step Height Repeatability ≤0.1% @ 1σ (VLSI 7.969um ±0.065 시편 기준, 16회 반복) - System Configuration Manual probe tip/tilt : +/-6도 Motorized coarse Z axis stage : 100mm Motorized XY stage : 100mm × 100mm Motorized lenses turret White-light LED Illumination Main controller Stitching function (Part 300) □ 주요 성능 ○ Operation Program - Fast, Easy operation - Real image save - 2D measurements(point, linem arc, circle, angle) - Full 3D topography scan ○ Profile analysis - Step height, width, depth, angle, roughness - Area information(area, volume, average height) - Noise filtering & Tilt compensation - Advanced data storage(JPG, BMP, CSV, DAT) ○ Multi profile analysis - Multi line profile and roughness - Comparative analysis profile and profile - Profile(roughness, waviness) ○ Quickly 3D analysis - Various color 3D display - Freely 3D setting(zoom, rotation, light, multi view) - Simply heught, width measurement to point click
사용/활용예	- 반도체 공정에서 포토리소그라피 공정 및 식각 공정을 진행한 후 패턴의 단차 및 3D 이미지 등을 백색주사간섭계를 통하여 측정 확인에 사용. - 기판의 폴리싱 및 그라인딩 후 측정을 통하여 표면의 조도, 거칠기 등을 측정에 사용.
이용안내
유의사항

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