연구시설장비

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정보제공 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr)

패럴린 코팅 시스템

parylene coating system

DRIS No.	DRIS-19-0173
시설장비등록번호	NFEC-2017-07-238937
보유기관	대구경북과학기술원
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장비정보

모델명	OBTPC200	제작사	오방테크놀로지
취득일자	2017-06-22	취득금액	45,100,000원
5대 미래산업 분류	헬스케어	활용용도	시험
표준분류	기계가공/시험장비 > 성형/가공장비 > 코팅기
장비위치	대구광역시 달성군 현풍면 테크노중앙대로 333 50-1 대구경북과학기술원 E2 F5 520
장비설명	1. 박막 및 encapsulation에 필요한 다 기능 다목적인 parylene을 증착할 수 있는 CVD 장비와 공정 진행 온도 그래프로 표시 제어 Pattern : 증착 코팅 공정에 따른 6Pattern 이상 저장 및 자동 운전 가능한 방식
구성 및 기능	PLC : ? PLC 구성 : 파워모듈, 시퀀스CPU, 베이스모듈, 시리얼 통신모듈, 입출력카드, 2CH/4CH 온도조절 /PID모듈(입력sampling주기 100/200ms), 4CH/8CH A/D입력 모듈 ( 입력대0~5/-10~10V, 분해능 1.4/5.7mV), 등 ? PLC 사양 : YOCOGAWA(온도 제어 기능 우수) 시스템 고장 보호 기능 (System Fault Protection) ? 진공 펌프 고장 알람 ? 진공 도달 실패 알람 ? 칠러 온도 미달 알람 ? 증발기 히터 온도 제어 범위 고장 알람 ? 열분해 히터 온도 제어 범위 고장 알람 ? 진공 센서 히터 온도 제어 범위 고장 알람 ? 시스템 외함내 과온 경보 알람
사용/활용예	학과내의 여러 소자들을 본 장치를 이용하여 쉴딩이나 초박막 소자로의 응용을 시도해 볼 수 있으며 다목적 parylene을 증착 할수 있다. 또한, 제어 장치를 이용하여 정밀하게 제어가 가능
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